Технологии синтеза кремний-углеродных пленок

4 года 3 мес. назад #105 от Kate
Разработка технологии синтеза кремний-углеродных алмазоподобных пленок методом плазмохимического осаждения

Автор: Темиров Александр Анатольевич

В последние годы рядом научных организаций и мед. учреждений ведется работа, направленная на разработку и внедрение гипертермических методов лечения онкологических заболеваний – повышение температуры участков тела при физическим воздействии до 43 °С, при которой наступает некроз больных клеток.

Проблема, связанная с применением этого метода, состоит в том, чтобы локально нагреть больные участки тела – опухоли.
Локальная СВЧ-гипертермия может быть эффективной для лечения поверхностно расположенных злокачественных опухолей, однако глубоко расположенные опухоли и опухоли размером более 5 см этим методом разогреть не удается. С целью преодоления недостатков локальной гипертермии предложено вводить вглубь опухоли микроферромагнитные иглы, ферромагнитные борсодержащие препараты, магнитные имплантанты – так называемые видеоуправляемые противоопухолевые средства.

Вместе с тем, проблема создания мелкодисперсных поглощающих электромагнитное излучение материалов и локализация их в очаге заболевания, при этом безопасных для организма человека, в настоящее время не решена. Решением проблемы может стать напыление вводимых имплантов химически стойкими и безвредными для организма пленками.

В данной работе разработана методика напыления кремний-углеродных пленок из парофазовой смеси путем ионизации горячих паров рабочего вещества (ПФМС) высокочастотным индукционным плазмотроном. Напыление осуществлялось на подложки из различных материалов. Контроль роста кремний-углеродных пленок производился путем изменения подачи паров вещества и параметров электрического поля, подаваемого на подложки.

Показано, что подобная методика позволяет получать покрытия, свободные от сторонних примесей. Получены кремний-углеродные пленки с соответствующими для алмазоподобных покрытий свойствами на различных подложках. Полученные образцы исследовались методами: сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и эллипсометрии. Состав полученных пленок близок к теоретическому и составляет – С/Si ≈ 9,5. Коэффициент преломления пленок равен 1,7.

Работа выполнена под руководством доцента, к.ф.-м.н. Малинковича М.Д.__

Институт новых материалов и нанотехнологий
Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков

Пожалуйста Войти , чтобы присоединиться к беседе.

Время создания страницы: 0.072 секунд

Наши достижения


100
Открытых тем

60
Активных участников

180
Сообщений